上海微电子推出新一代先进封装光刻机：首台将于年内交付

据介绍，上海微电子推出的新型掩模对准器主要应用于高密度异质集成领域，具有分辨率高，套印精度高，曝光场大等特点。

上海微电子表示，封装掩膜版对准器可以帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互联封装技术的应用，满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求，同时将帮助封装测试厂商提升技术水平，开发新技术，为我国集成电路产业在封装测试领域的发展做出更多贡献。

IT之家了解到，据报道，上海微电子已与多家客户就新一代先进封装中的掩膜版对准器达成销售协议，首款封装掩膜版对准器将于今年内交付。